警惕电子特气!汉威科技为半导体发展系紧“安全带”
当前,数字经济席卷全球,半导体产业站上时代潮头,吸引着相关行业竞逐这条“黄金赛道”。从人工智能的算力爆发到万物互联的智能终端,从新能源汽车的“大脑”到高端装备的“心脏”,芯片已成为驱动现代文明进步的“工业粮食”。据相关数据显示,预计2025年至2030年间,全球半导体市场将以8.5%的年复合增长率稳步扩张。至2030年,市场规模有望突破11112亿美元,持续引领全球高科技产业的结构性增长。

然而,这条黄金赛道上也有着不容呼吸的危险隐患——电子特气。
电子特气贯穿于芯片制造的光刻、刻蚀、薄膜沉积、掺杂、清洗等核心工艺环节,其纯度与稳定性直接决定着芯片的性能与良率。但这些电子特气往往具有易燃易爆、有毒有害等危险特性,如氢气、氨气、磷化氢、砷化氢、磷化氢、硅烷、溴、氟、氰化氢、氟化氢等,一旦在生产、存储、输送或使用环节发生泄漏,将会引发火灾、爆炸等严重后果。
对于电子特气的安全监管,构建一道精准、可靠、全天候的可燃有毒气体监测防线,已不再是简单的合规要求,而是半导体产业稳健发展的生命线。
这道防线必须精准部署于风险的源头与关键通道。包括气体供应与存储区:特气柜、气瓶架、大宗气体储罐周围;工艺设备点:围绕刻蚀机、扩散炉、CVD(化学气相沉积)设备等用气设备的接口与腔体附近;气体输送管路:特殊气体供应管路、阀门组区域;人员作业场所:洁净室、设备维护区、分析实验室等人员活动密集场所;废气处理装置前:在尾气通往处理系统的管线上,监测未经处理的危险气体浓度。

汉威科技针对半导体行业推出的气体安全检测解决方案,搭载如GD-HS10半导体工厂气体检测仪等高灵敏度、高可靠性设备,支持对上百种危险气体的实时监测与早期预警,通过智能化平台实现“早发现、早预警、早处置”,为洁净室与生产线提供持续安全保障。
汉威GD-HS10半导体工厂气体检测仪专门用于检测半导体工厂中可燃、有毒、有害气体,具有高灵敏度、高可靠性、低浓度检测等特点,支持半导体行业全气体的检测。LCD点阵屏大屏显示,可显示任意字符,支持中英文切换,人机界面友好;背板式挂壁安装,方便安装与接线;电磁泵吸原理,相对电机式机械磨损小,泵寿命长;主机平台可更换传感器模组,可扩展多达百种气体。
展望未来,半导体的发展璀璨可期,而其稳健前行必以安全为基石。唯有通过智能化监测与数字化管控,以科技筑牢防线,才能为这条创新之路铺就坚实根基,真正实现可持续的智慧发展。
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